ITO靶材主要質量指標
化學成分：In2O3 ：SnO2=90:10(wt%)
純度≥99.99%
相對密度＞99%
密度均勻性偏差≤ ±0.2%
相結構：單一立方In2O3相
純度≥99.99%
相對密度＞99%
密度均勻性偏差≤ ±0.2%
相結構：單一立方In2O3相
失氧率≤2%
單片最大尺寸：300mm x 400mm，厚度可按用戶要求任意
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ITO靶材
詳細信息 ITO靶材主要質量指標 化學成分：In2O3 ：SnO2=90:10(wt%)
純度≥99.99% 相對密度＞99% 密度均勻性偏差≤ ±0.2% 相結構：單一立方In2O3相 失氧率≤2%
單片最大尺寸：300mm x 400mm，厚度可按用戶要求任意 |