七星華創(chuàng) sevenstar 氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品類型

高耐壓型,抗電磁干擾

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

產(chǎn)品精度

±1％F.S.

重復(fù)精度

±0.2% FS

線性

±0.5% F.S.

響應(yīng)時間

≤10sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

10MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

輸入輸出信號

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類型

- 無 -

溫度系數(shù)

- 無 -

零點飄移指標

- 無 -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

(0.2～0.6) MPa （10slm＜F.S.）,(0.2～0.8) MPa （F.S.≤10slm）

漏率

1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式

雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4”

表面化學(xué)成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

CE

重量

1Kg