七星華創(chuàng) sevenstar 氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品類型

大流量型

流量量程

300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm

產(chǎn)品精度

±2％F.S.

重復(fù)精度

±0.2% FS

線性

±1％F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤10sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

輸入輸出信號(hào)

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類型

常閉

溫度系數(shù)

- 無 -

零點(diǎn)飄移指標(biāo)

- 無 -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

(0.25～0.5) MPa （F.S.≤1000slm）

漏率

1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

法蘭(根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì))

表面化學(xué)成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

- 無 -

重量

6Kg