七星華創(chuàng) sevenstar 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品類型

高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,抗電磁干擾

流量量程

2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

產(chǎn)品精度

±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

重復(fù)精度

±0.2% FS

線性

±0.5% F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤0.8sec

工作溫度范圍

(0~50)°C

耐壓

3MPa

密封材料

金屬密封 metal

輸入輸出信號(hào)

(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus

電源

±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

閥類型

常開或常閉

溫度系數(shù)

Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃

零點(diǎn)飄移指標(biāo)

＜0.6%F.S. per year without autozero

電氣連接

Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作壓差范圍

(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）

漏率

1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產(chǎn)品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型

表面化學(xué)成分

CrO thickness ＞20 Angstroms

表面粗糙度

10µinch

抗電磁干擾

CE

重量

1.2Kg