七星華創(chuàng) sevenstar 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品類型

大流量型,高精度型,快響應型,數(shù)字型,抗電磁干擾

流量量程

50slm,100slm,150slm,200slm,250slm,300slm

產(chǎn)品精度

±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

重復精度

±0.2% FS

線性

±0.5% F.S.

響應時間

≤2sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene

輸入輸出信號

(0~5)VDC,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet

電源

±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

閥類型

- 無 -

溫度系數(shù)

Zero ≤±0.02% F.S./℃

零點飄移指標

＜0.6%F.S. per year without autozero

電氣連接

D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作壓差范圍

(0.15～0.35) MPa （50slm≤F.S.＜150slm）,(0.20～0.35) MPa （150slm≤F.S.≤250slm）,(0.25～0.40) MPa （250slm≤F.S.≤300slm）

漏率

1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式

VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10,雙卡套3/8”

表面化學成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

CE

重量

2.6Kg